臺階儀

簡要描述：臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是:當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。

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更新日期：2025-02-12
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測量/計量儀器

測振儀圓度儀/圓柱度儀粗糙度儀臺階儀輪廓儀

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詳細(xì)介紹

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是:當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號。經(jīng)放大與相敏整流后，可將位移信號從調(diào)幅信號中解調(diào)出來，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響。

臺階儀參數(shù)

項目簡述	參數(shù)說明
1.共焦	可快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)共焦技術(shù)。使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150倍) 全視野3D鏡頭，用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉測量>: 72° vs 44°) 。具有光學(xué)形貌上超高的橫向分辨率，附有5百萬自動分辨率的CCD相機，空間下樣可調(diào)至0.05um，是表面特征以及形貌的測量的理想配置。在測量表面粗糙度/表面反射率上無限制應(yīng)用于透明層/薄膜。兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC。長距離遠攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。高穩(wěn)定性。
2.干涉儀（WLI）	Z向高分辨率兼具相移（PSI）以及垂直掃描（VSI）模式 Z向分辨率可獨立放大四色CCD 相機，用戶可自選的LED光源 (白光、綠光、藍光和紅光) 高達五百萬像素的可自動分辨的CCD 相機快速處理器自動對焦
3.原子力顯微鏡	探針掃描可用于大型模板 X、Y、Z三向可達原子級分辨率大壓電探針掃描XY: 達到 110x110um
4.變焦	粗糙表面分析快速分析一臺設(shè)備上集成非接觸式白光干涉形貌儀高精度原子力顯微鏡

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